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产品描述:Semistat热电式过程恒温器LAUDA - Semistat 热电的温度控制系统为等离子刻蚀工艺提供稳定的可重复性的温度控制系统。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可用在任何的刻蚀工艺中。热电温度控制系统设计的基础是...
价格:电议
供应商等级: 免企业未认证
供应商:
所属地区:上海市
联系人:杨女士
联系电话:021-52682768
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